數(shù)字式四探針測(cè)試儀 　型號(hào)：SX1934
產(chǎn)品特點(diǎn) 
四探針測(cè)試儀是根據(jù)單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó)A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)的半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）測(cè)試儀器。 
儀器以大規(guī)模集成電路為核心部件，采用旋扭式開(kāi)關(guān)控制，及各種工作狀態(tài)LED指示。應(yīng)用微計(jì)算機(jī)技術(shù)，使得測(cè)量讀數(shù)更加直觀、快速。整套儀器體積小、功耗低、測(cè)量精度高、測(cè)試速度快、穩(wěn)定性好、易操作。 
測(cè)量范圍 電阻率/Range：10-4—105Ω/□(可擴(kuò)展/extended range) 方塊電阻(薄層電阻) /Sheet resistance：10-3—106Ω/□ 電阻/resistance：10-6—105Ω 
可測(cè)晶片直徑（Z大） φ100mm(標(biāo)配)，方形230×220mm(Z大) 
Z大電阻測(cè)量誤差(按JJG508-87)
0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±0.3%讀數(shù)±2個(gè)字 
外形尺寸 400mm×440mm×120mm 
儀器重量 電氣主機(jī)：約4kg 　　測(cè)試臺(tái)：約5kg 
測(cè)試環(huán)境 溫度：23±2℃ 相對(duì)濕度：≤65％； 無(wú)高頻干擾 無(wú)強(qiáng)光照射 
電源 220V±10%(50Hz) 功耗≤35W 
探頭 
Sx系列四探針探頭是采用綜合性能優(yōu)異的高分子材料、耐磨和硬度高的探針研制的測(cè)量數(shù)據(jù)穩(wěn)定、可靠、準(zhǔn)確度高、耐用性能好四探針探頭。所有技術(shù)指標(biāo)符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，同時(shí)符合ASTM標(biāo)準(zhǔn)有關(guān)規(guī)定。 
間距：1±0.01mm； 針間絕緣電阻≥1000MΩ； 機(jī)械游移率:≤1.0%；
探針壓力：TZT-9A/9B: 12-16牛頓（總力） TZT-9C/9D 5-8 牛頓（總力）